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本文介绍了采用电化学制备多孔硅技术，在固定光强、温度、电流等实验条件下，通过改变电解液中HF酸浓度，测量对比了相应多孔硅的特性，找出HF浓度对电化学法制备多孔硅结构的影响。
HF浓度对电化学法制备多孔硅结构的影响
【摘 要】
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本文介绍了采用电化学制备多孔硅技术，在固定光强、温度、电流等实验条件下，通过改变电解液中HF酸浓度，测量对比了相应多孔硅的特性，找出HF浓度对电化学法制备多孔硅结构的影响。
【机 构】
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枣庄学院光电工程学院
【出 处】
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枣庄学院学报
【发表日期】
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2015年5期
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