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对原子力显微镜微悬臂变形进行了研究.微悬臂工作时的变形为大变形状态,由椭圆积分理论给出微悬臂大变形[1,2]时的垂直位移和水平位移的理论公式,为微悬臂的设计制造及针尖与样品间相互作用力的计算提供了新的精确计算方法.
原子力显微镜微悬臂变形位移的理论计算
【摘 要】
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对原子力显微镜微悬臂变形进行了研究.微悬臂工作时的变形为大变形状态,由椭圆积分理论给出微悬臂大变形[1,2]时的垂直位移和水平位移的理论公式,为微悬臂的设计制造及针尖与
【机 构】
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燕山大学机械学院
【出 处】
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微纳电子技术
【发表日期】
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2004年12期
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