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用磁控溅射技术在玻璃衬底上获得了取向单一的纳米级ZnS薄膜．研究了衬底温度对薄膜结构的影响．得出400℃时沉积的薄膜结晶最好，为六方纤锌矿结构，在可见光范围内有较高的透过率，其光能隙为3．81eV．
磁控溅射法制备纳米级ZnS薄膜及其性能研究
【摘 要】
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用磁控溅射技术在玻璃衬底上获得了取向单一的纳米级ZnS薄膜．研究了衬底温度对薄膜结构的影响．得出400℃时沉积的薄膜结晶最好，为六方纤锌矿结构，在可见光范围内有较高的透过率，其
【机 构】
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四川大学材料科学与工程学院
【出 处】
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四川大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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2008年3期
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