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<正>电子化学品特种气体业务也同样受到了影响。一年前,新一代晶片生产装置的建立使得NF3一直处于供不应求的状态。现货价格达到572.7美元/公斤,大
电子化学品（下）
【摘 要】
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<正>电子化学品特种气体业务也同样受到了影响。一年前,新一代晶片生产装置的建立使得NF3一直处于供不应求的状态。现货价格达到572.7美元/公斤,大
【出 处】
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上海化工
【发表日期】
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2001年17期
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