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区焦激光器可以提供光学装置和微电子器的精度。
干涉测量法增加了测量深度
【摘 要】
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区焦激光器可以提供光学装置和微电子器的精度。
【机 构】
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法国光学传感器公司销售经理
【出 处】
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红外
【发表日期】
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1997年9期
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