【摘 要】
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随着元器件的微型化、精密化发展,对快速微细加工提出了巨大需求.基于准分子激光微细加工技术,以串行加工方式加工了X光掩膜板图形结构和压电陶瓷(PZT)微结构.研究了波长为24
【机 构】
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上海应用技术学院理学院,上海,201418;日本立命馆大学微系统系,京都525-8577
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随着元器件的微型化、精密化发展,对快速微细加工提出了巨大需求.基于准分子激光微细加工技术,以串行加工方式加工了X光掩膜板图形结构和压电陶瓷(PZT)微结构.研究了波长为248 nm KrF准分子激光微细加工技术的最优加工条件,获得了高质量的X光光刻用的掩膜板和PZT微结构.基于X光掩膜板,采用聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)为光刻胶进行X光光刻,获得了高深宽比的六角形蜂窝微结构.通过输入不同的加工参数来激光加工PZT基板,获得了加工参数与PZT基板加工深度的关系.通过对加工好的PZT微结构和六角形蜂窝微结构的测试,结果表明利用准分子激光器可实现快速微细加工的目的.
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