二氧化钒薄膜的掺杂改性及制备

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介绍了二氧化钒的两种晶胞结构、相变机理,综述了降低其相变温度的各种掺杂元素、掺杂工艺,介绍了各种衬底、退火温度对钒价态和薄膜相变的影响,最后对二氧化钒的应用前景进行了展望。 The structure and phase transition mechanism of two kinds of vanadium dioxide cells are introduced. Various kinds of doping elements and doping process are reviewed. The influences of various substrates and annealing temperature on the vanadium valence and the phase of thin film In the end, the prospect of the application of vanadium dioxide is prospected.
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