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针对充氟油器件泄漏介质为氟抽的检漏需求,研制了一套四极质谱计检漏设备,该设备由四极质谱计和取样系统组成,使用累积法对充氟油器件进行检漏.文中介绍了系统的组成与原理,设备的校准,给出并讨论了实验结果.实验结果及用户的实际使用情况表明:充氟油器件检漏设备方法可行、性能可靠,相对误差在10%以内.
充氟油器件检漏设备的研制
【摘 要】
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针对充氟油器件泄漏介质为氟抽的检漏需求,研制了一套四极质谱计检漏设备,该设备由四极质谱计和取样系统组成,使用累积法对充氟油器件进行检漏.文中介绍了系统的组成与原理,
【机 构】
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清华大学电子工程系,北京,100084北京哲勤科技有限公司,北京,100020;清华大学电子工程系,北京,100084;北京哲勤科技有限公司,北京,100020;
【出 处】
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真空
【发表日期】
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2010年4期
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