【摘 要】
：
硅外延层是高端电子产品中常用的技术,主要是通过化学气相沉淀法在硅抛光过程中,在衬底位置生长的一层单晶硅薄膜,此类薄膜可根据电子器件要求对厚度与掺杂浓度进行精细化调
论文部分内容阅读
硅外延层是高端电子产品中常用的技术,主要是通过化学气相沉淀法在硅抛光过程中,在衬底位置生长的一层单晶硅薄膜,此类薄膜可根据电子器件要求对厚度与掺杂浓度进行精细化调控,并且结晶质量与完整性通常较好,能够为高端电子产品的生产质量提供更好的保障.而从外延层质量管控与器件参数角度来看,怎样保持大尺寸外延层的均匀性、可靠性、一致性也成了现代电子器件审核标准中不可忽视的要素,如何提升外延层性能也需要得到技术人员的关注.
其他文献
随着我国工业的不断发展,各种先进的技术在现代工程机械当中的应用越来越多,随发挥的作用也越来越突出.机电一体化技术是几种工程技术相互融合的成果,其在机械动力功能、信息
在创先争优活动中,我们坚持把活动开展作为抓基层、打基础的强基固本工程来抓,围绕“创建先进基层党组织、争当优秀共产党员”的活动主题和“立足岗位比作为、创先争优当先锋
随着社会经济的不断发展,现代城市生活质量提高,燃气凭借其清洁安全、经济实惠的优越性得到了广泛的应用,既减少了污染物的排放,也改善了人们的生活.不过,在城市化建设的过程
本文以6MTI380变速箱二轴为研究对象,分析了加工中的技术难点,阐述了QUICKPOINT 3000磨床的加工原理,加工方案及验收标准,利用qs—STAT软件平台的过程能力分析法,分析了加工
员工绩效考核是根据工作目标或一定的绩效标准,采用科学的方法,对员工的工作完成情况、职责履行程度等进行定期的评审,并将评定结果反馈给员工的人力资源管理过程.
随着社会的发展,管理会计在企业的发展过程中发挥更加重要的作用,它的发展越来越受到人们的关注.提升管理会计管理质量能在较大程度上提升企业整体发展水平,让企业更具有市场
当前大多数的公用建筑物中,普遍都是采用了中央空调系统,通过利用冷水机组来进行夏季供热和冬季供暖.而在实际的应用过程中,由于很多单位的中央空调日常管理工作不到位,导致
轧坯机是油脂原材料预处理过程中的重要设备之一,但实际的运行过程中,也较为容易产生一种跑生现象,这不仅会影响到油脂预处理的质量,同时也会影响到企业的生产效率.基于此,本
0.05级数字压力在社会生产实践中具有广泛的应用途径和现实作用,依托于这一科学的压力计,能够在很大程度上提升计量结果的精准性,同时也能够在很大程度上优化其使用成效.因此
本文将主要分析草酸二甲酯气相加氢反应中铜基催化剂的改性方法,并通过分析研究总结本次实验的制备方法、催化剂的载体以及辅助试剂改性对催化反应性能产生的影响.重点阐述不