新型无醇单晶硅制绒添加剂的研究

来源 :人工晶体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:nnhdceh986532
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本文旨在针对单晶硅绒面制备传统工艺技术存在的种种缺陷,设计研制了一种无异丙醇等其他醇类存在下制备单晶硅绒面的腐蚀液。该方法使用复合添加剂,在90℃条件下对单晶硅经过10 min快速腐蚀,制备出在600~1000 nm波段内反射率在11%以下的理想绒面。与传统工艺相比,此体系具有反应速度快、不含易挥发有毒溶剂、产品的反射率低、金字塔分布均匀、重复性好等一系列优点。
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