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光学系统的波前光程差的探讨和光学零件表面质量及光学均匀性的检查对每一个精密光学工厂来说,都是一个重要的过程。通常所采用的方法之一就是光学干涉法。激光是干涉仪的良好的光源,因为它把高亮度和相干性好这两个优点结合在一起了。Canon 公司采用了激光来作为光源用于一般的及全息的干涉法。在全息干涉法方面,已提出了不少的研究项目,以便研究发展一些测