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微型化是机电继电器最重要的发展方向之一,MEMS设计和制造技术的进展开辟了机电继电器微型化的崭新途径。本文系统介绍了典型MEMS继电器的研究进展,简要地比较、评述了它们的优势和缺点。
微型机电继电器研究进展
【摘 要】
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微型化是机电继电器最重要的发展方向之一,MEMS设计和制造技术的进展开辟了机电继电器微型化的崭新途径。本文系统介绍了典型MEMS继电器的研究进展,简要地比较、评述了它们的
【机 构】
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上海交通大学微纳米科学技术研究院
【出 处】
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电子产品世界
【发表日期】
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2005年05期
【基金项目】
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国家高技术研究发展计划(863)项目(2003AA404140);信息产业部电子科学研究院基金资助项目(0241308050116)
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