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目的研究不同溅射方法和基体材料对沉积氧化钛薄膜的晶体结构、化学价态、表面形貌的影响。方法采用高功率脉冲磁控溅射（HPPMS）和直流磁控溅射（DCMS）在316L不锈钢和硅片表面制备了氧化钛薄膜。采用等离子光发射谱检测了沉积薄膜时的等离子体特征。采用x射线衍射仪（xRD）、x射线光电子能谱（xPs）、原子力显微镜（AFM）和扫描电子显微镜（SEM），分别评价氧化钛薄膜的晶体结构、化学价态、晶粒尺寸和表面粗糙度。结果等离子体特征显示，沉积氧化钛薄膜时，HPPMS比DCMS具有更高的离化率和等离子体密度。XRD