【摘 要】
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采用俄歇电子能谱（AES）和二次离子质谱（SIMS）技术对不同条件下制备的 β″-Al2O3陶瓷进行表面和深度剖析,将所得结果进行比较后发现,用 AES 进行深度剖析时,电子束在样品表面上形
【机 构】
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中国科学院上海硅酸盐研究所; 中国科学院上海硅酸盐研究所;
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采用俄歇电子能谱（AES）和二次离子质谱（SIMS）技术对不同条件下制备的 β″-Al2O3陶瓷进行表面和深度剖析,将所得结果进行比较后发现,用 AES 进行深度剖析时,电子束在样品表面上形成的电场将促使 β″-Al2O3出现钠沉积现象。用 SIMS 技术发现样品表面有一个表面层,其组成与样品主体不同且取决于β″-Al2O3烧结时的环境条件。本工作还用扫描电镜（SEM）,电子探针（EPMA）和 X 射线能量色散（EDAX）等技术对 β″-Al2O3的表面及断面进行了研究。
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