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介绍了一种基于差压式气路的气针传感器的设计方法和工作原理。分析了影响气动测量精度的主要误差因素,如工作压力的波动、电器误差、空气质量和非线性误差等,并通过相应的措施对误差给予补偿,提高了气动测量的精度和灵敏度。该气针传感器的测量范围为55μm,分辨力为0.02μm,静态误差小于0.23μm。研究结果为气动测量应用于高精度高分辨力的非接触尺寸测量提供了理论和试验依据。