微器件装配系统与关键技术

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微装配技术是实现组合结构的微机械电子学系统的关键技术之一。本文介绍了目前两种典型的可以实现不同功能的微器件装配系统以及设计微器件装配系统的关键技术。 Micro-assembly technology is one of the key technologies of MEMS (micro-electro-mechanical) system with combined structure. This paper presents two typical micro-device assembly systems that can achieve different functions and the key technologies for designing micro-device assembly systems.
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