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期刊论文
光刻单元集的切割重组选择算法
光刻单元集的切割重组选择算法
来源 :计算机应用研究 | 被引量 : 0次 | 上传用户:liongliong520
【摘 要】
:
本文给出一个效率较高的算法,通过对VLSI设计图形的切割,重组和选择,建立光刻图形的单元图形集合-光刻单元集。
【作 者】
:
王绍钧
杨立才
【机 构】
:
山东工业大学自动化工程系
【出 处】
:
计算机应用研究
【发表日期】
:
1995年4期
【关键词】
:
集成电路
VLSI
光刻
切割
算法
微细加工
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本文给出一个效率较高的算法,通过对VLSI设计图形的切割,重组和选择,建立光刻图形的单元图形集合-光刻单元集。
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