【摘 要】
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随着科技的快速发展,MEMS测试技术也迎来了其发展的大好时机.MEMS测试技术是MEMS设计、制造、仿真及质量控制和评价的关键环节.MEMS制造过程及精密度要求很高,因此,其几何量
【机 构】
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国防科学技术大学机电工程与自动化学院
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随着科技的快速发展,MEMS测试技术也迎来了其发展的大好时机.MEMS测试技术是MEMS设计、制造、仿真及质量控制和评价的关键环节.MEMS制造过程及精密度要求很高,因此,其几何量的测试方法也十分严格.MEMS体积较小,其组成的零件体积就更加袖珍,不能通过人工进行大量的生产,所以,其具有自身独立的智能系统,通过智能系统来保证零件的精度.MEMS有其特殊的测量方法,本文就其测量方法进行分析与探讨,为更深层次的挖掘其几何量测试法的科学性及其将来的发展趋势打下坚实基础.
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