相移电子散斑干涉法测量面内变形

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叙述了相移式电子散斑干涉法测量面内变形的原理、电子散斑图的计算机处理方法及测量例.采用分段多次测量可以扩大面内变形的测量范围,和一般电子散斑干涉术相比,相移式电子散斑干涉法提高了相关条纹位相的计算精度,因而提高了面内变形的测量精度,并可得到面内变形的三维立体图.
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