选择外延MOCVD研制DFB激光器和模斑转换器集成器件

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zprtsge
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研究了利用选择外延生长的InGaAsP材料的厚度增强因子和带隙波长的性质,最大的厚度增强因子为2.9。利用选择外延技术研制的DFB激光器和模斑转换器的集成器件,阈值为10.8mA,在60mA下输出功率为10mW,边模抑制比为35.8dB,垂直方向上的远场发散角从34°减少到9°,垂直方向上的1dB偏调空差为3.4μm。
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