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镀金溶液中重金属杂质的常见分析方法
镀金溶液中重金属杂质的常见分析方法
来源 :电子工艺技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zjr_1988
【摘 要】
:
为了降低镀金溶液中有害金属杂质的共沉积和提高镀金层质量,对镀金液中重金属杂质的分析方法进行了概述。
【作 者】
:
杨晓战
沈卓身
魏忻
许维源
【机 构】
:
北京科技大学,中科院电子所
【出 处】
:
电子工艺技术
【发表日期】
:
1998年1期
【关键词】
:
镀金溶液
重金属杂质
封装
半导体
微电子
Gold platingHeavy metallic impuritiesAnalysis
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为了降低镀金溶液中有害金属杂质的共沉积和提高镀金层质量,对镀金液中重金属杂质的分析方法进行了概述。
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