【摘 要】
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动态性能测试是MEMS加速度传感器测试的重要部分.而传统单个、手动的测试方法导致了测试时间长、效率低的问题,制约了MEMS加速度传感器的市场化和产业化发展.为了解决这个问
【机 构】
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中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,中北大学电子测试技术国家重点实验室
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动态性能测试是MEMS加速度传感器测试的重要部分.而传统单个、手动的测试方法导致了测试时间长、效率低的问题,制约了MEMS加速度传感器的市场化和产业化发展.为了解决这个问题,设计了一种应用于批量化MEMS加速度传感器的振动台自动锁紧装置,在设计该装置的机械结构的基础上,设计了PLC和磁开关对回转夹紧气缸的控制反馈系统,实现了批量化MEMS加速度传感器的自动锁紧.该装置结构合理、设计巧妙,有效解决了以上问题,适用于MEMS加速度传感器的振动试验.
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