“无焦度同心圆”同心度的测量方法

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“无焦度同心圆”是一种光洁度要求高,同心度要求严的光学零件。随着激光技术的发展,对光学零件的要求就愈来愈严。可见,怎样保证其加工质量是一个极待解决的问题,而检测手段则是问题的关键。本文就几种测量“无焦度同心圆”中心偏的方法进行了比较,我们认为用比较测角仪测量法效果比较好。加工零件技术要求如 “Inconcentricity” is a kind of optical parts with high requirements for finish and concentricity. With the development of laser technology, the requirements of optical components are getting more and more strict. Visible, how to ensure the quality of its processing is a problem to be solved, and testing means is the crux of the problem. In this paper, several methods for measuring the center deviation of “non-concentric concentric circles” are compared, and we think it is better to use the comparative goniometer measurement method. Processing parts technical requirements such as
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