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针对硅波导采用热光或载流子色散效应折射率调节范围小、功耗高且具有易失性的缺点,提出一种基于相变材料的硅波导调节方法。相变材料具有至少两种稳定状态,折射率差别巨大,而且状态的保持不需要外加电压来维持,具有非易失特性;因此,硅与相变材料混合集成可以有效克服硅基光电子本身的物理限制,能应用于高密度、低功耗、大规模集成光开关芯片中。