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微电子工业用湿化学品的生产和发展
微电子工业用湿化学品的生产和发展
来源 :上海化工 | 被引量 : 0次 | 上传用户:luohai8899
【摘 要】
:
叙述了集成电路芯片加工用的湿化学品的分类,主要是超净高纯试剂和溶剂,以及如何达到国际半导体设备和材料协会所要求的C7、G8或C12规格的纯化方法.
【作 者】
:
李葰
【机 构】
:
上海市合成树脂研究所
【出 处】
:
上海化工
【发表日期】
:
2004年8期
【关键词】
:
微电子工业
湿化学品
生产
发展
集成电路芯片
试剂
溶剂
Wed-chemicals
High-purity reagent
High-purity ch
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叙述了集成电路芯片加工用的湿化学品的分类,主要是超净高纯试剂和溶剂,以及如何达到国际半导体设备和材料协会所要求的C7、G8或C12规格的纯化方法.
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