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在参考他人最近十几年研究的基础上，总结了降低超硬类金刚石薄膜内应力的几种方法，包括热退火、掺杂、加脉冲偏压、沉积多层膜等。退火在降低应力的同时可保持类金刚石薄膜很高的硬度，其他各种方法在降低应力时都以降低一定的硬度为代价。
降低超硬类金刚石薄膜应力的方法
【摘 要】
：
在参考他人最近十几年研究的基础上，总结了降低超硬类金刚石薄膜内应力的几种方法，包括热退火、掺杂、加脉冲偏压、沉积多层膜等。退火在降低应力的同时可保持类金刚石薄膜很高
【机 构】
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兰州物理研究所
【出 处】
：
真空与低温
【发表日期】
：
2006年1期
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