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简要介绍了当前半导体生产中对电子显微镜缺陷再检测(Defect Review SEM,DRSEM)系统的要求,以及应用材料公司针对这些要求推出的新一代DRSEM系统--SEMVisionG2 FIB的各种主要功能及其在半导体生产线上的应用.
新一代DRSEM系统SEMVisionG2 FIB简介
【摘 要】
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简要介绍了当前半导体生产中对电子显微镜缺陷再检测(Defect Review SEM,DRSEM)系统的要求,以及应用材料公司针对这些要求推出的新一代DRSEM系统--SEMVisionG2 FIB的各种主要
【机 构】
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应用材料中国公司
【出 处】
：
半导体技术
【发表日期】
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2004年4期
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