【摘 要】
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Al2O3是高功率激光装置中广泛应用的材料,其在激光辐照工作时表面由于缺陷产生损伤,进而产生的大量污染物会造成光学元件性能严重下降,是制约高功能激光装置进一步发展的主要
【基金项目】
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本文来源于国家自然科学基金重点项目“高能激光系统超洁净制造的关键基础科学问题研究”(项目编号:51535003)和黑龙江省自然科学基金“高真空、强辐射下精密零件的洁净制造相关问题研究”(项目编号:E2015007)的资助
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Al2O3是高功率激光装置中广泛应用的材料,其在激光辐照工作时表面由于缺陷产生损伤,进而产生的大量污染物会造成光学元件性能严重下降,是制约高功能激光装置进一步发展的主要因素之一。表面损伤主要是由于表面依附污染物引起的,其中,固体污染物又是最主要的诱发损伤源,因此,研究固体污染物对Al2O3表面抗激光损伤性能的影响就显得尤为重要。本文针对固体类无机污染物对Al2O3表面影响进行了研究,对不同类型、不同尺寸的固体污染物对Al2O3表面温度的影响进行了仿真研究,发现当Al2O3表面存在污染物时,更容易发生激光损
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