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电子工业需要的关键材料之一是各种纯度极高的特种气体，称之为电子气。电子气的纯度要比其它部门用气的纯度高得多。
电子气在使用过程中对保持纯度的要求
【摘 要】
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电子工业需要的关键材料之一是各种纯度极高的特种气体，称之为电子气。电子气的纯度要比其它部门用气的纯度高得多。
【出 处】
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低温与特气
【发表日期】
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1984年1期
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