【摘 要】
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采用溶胶-凝胶旋转涂膜法,以 InCl3·4H 2 O 和 SnCl4·5 H 2 O 为前驱物在玻璃基片上制备了氧化铟锡（ITO）薄膜材料,研究掺锡浓度、涂膜层数、热处理温度和热处理时间
【出 处】
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内蒙古师范大学学报(自然科学汉文版)
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采用溶胶-凝胶旋转涂膜法,以 InCl3·4H 2 O 和 SnCl4·5 H 2 O 为前驱物在玻璃基片上制备了氧化铟锡（ITO）薄膜材料,研究掺锡浓度、涂膜层数、热处理温度和热处理时间等工艺条件对 ITO 薄膜光电特性的影响.实验结果表明,ITO 薄膜的方块电阻和可见光透射率都与掺锡浓度、涂膜层数、热处理温度和时间等因素有关,最佳参数为锡掺杂量12wt%,热处理温度和时间分别为450℃和1 h,薄膜层数为6层.最佳 ITO 薄膜的方块电阻为185Ω/□,可见光平均透射率为91.25
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