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本文综述了硅材料的机械性能研究进展和相应的研究方法，利用高温拉伸、抗弯测试和显微压痕测试等研究手段，指出硅材料表面状况、位错和杂质是其机械性能的主要影响因素。表面损伤将降低硅单晶的拉伸屈服强度和抗弯强度；而位错的产生和滑移也可降低单晶的机械性能，但杂质对位错的钉扎将起到强化单晶机械性能的作用。
单晶硅材料机械性能研究及进展
【摘 要】
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本文综述了硅材料的机械性能研究进展和相应的研究方法，利用高温拉伸、抗弯测试和显微压痕测试等研究手段，指出硅材料表面状况、位错和杂质是其机械性能的主要影响因素。表面损
【机 构】
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浙江大学硅材料国家重点实验室
【出 处】
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材料科学与工程
【发表日期】
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2000年3期
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