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晶体硅太阳能电池行业的迅猛发展,对产业装备提出了越来越高的要求,本文介绍了晶硅太阳能电池钝化膜的制备原理,比较了当前几种主流的PECVD设备技术特点、相互区别,并进一步分析了PECVD设备的技术发展趋势.高性能、高产量、高成品率、低维护成本以及环保节能等是PECVD设备技术能满足市场并高速发展的重要条件.