扩散阴极用纯钨棒制备工艺的研究

来源 :第十七届电子陶瓷制造、陶瓷—金属封接技术交流会暨真空电子与专用金属材料分会年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:hammil
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本文以中颗粒钨粉为原料,首先采用射流分级技术进行粒度调控,之后经冷等静压压制成形、氢气高温烧结得到多孔纯钨棒,再对其进行渗铜、机加工及去铜处理,制备出多孔钨基体.结果表明:较之原料钨粉,分级钨粉粒度分布变窄、振实密度明显增加,说明其具有更好的颗粒堆垛性能;随着烧结温度的提高,分级钨粉压制棒坯的孔隙度由1900℃的22.8%线性降低至2050℃的17.8%,2000℃烧结钨渗铜材料的抗拉强度Rm达到864 MPa,去铜后压汞法通孔孔隙度19.85%、平均孔径1.39μm,可用于高可靠扩散式钡钨阴极的制造.
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