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《表面技术》2009年第4期
《表面技术》2009年第4期
来源 :表面工程资讯 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wintelchia
【摘 要】
:
半固着磨具在非晶态Ni-Pd-P合金薄膜铜片衬底精密研磨中的应用非晶态Ni-Pd-P合金薄膜具有非常好的热传导性和耐磨性,因而被广泛用作防护镀层。铜片由于其良好的导电性能被选为
【出 处】
:
表面工程资讯
【发表日期】
:
2009年4期
【关键词】
:
《表面技术》
合金薄膜
衬底材料
非晶态
精密研磨
热传导性
防护镀层
导电性能
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半固着磨具在非晶态Ni-Pd-P合金薄膜铜片衬底精密研磨中的应用非晶态Ni-Pd-P合金薄膜具有非常好的热传导性和耐磨性,因而被广泛用作防护镀层。铜片由于其良好的导电性能被选为生长非晶态Ni-Pd-P合金薄膜的衬底材料。
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