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中国科学院光电技术研究所镀膜团队成员、中国科学院青年创新促进会会员柳存定致力于分析球面镜片上薄膜性质和位置的关系.通过扫描电镜分析球面镜片上不同位置的薄膜结构,发现随着位置从中心到边沿,呈柱状生长的单层氟化物薄膜倾斜角度逐渐增大;通过计算机模拟,确认矢量生长模型可以较好地符合光刻机镀膜过程.研究结果显示薄膜微结构如柱状结构的倾角增大导致了折射率非均匀性从镜片中心到边沿逐渐增大.