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Sol-gel法制备Bi3.25La0.75Ti2.94Nb0.06O12铁电薄膜及其性能研究

来源 :电工材料 | 被引量 : 0次 | 上传用户：houhao88
【摘 要】
：
采用溶胶-凝胶法（Sol-gel）在p-Si和Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备Bi3.25La0.75Ti2.94Nb0.06O12（BLTN）铁电薄膜,研究了BLTN薄膜的晶相结构、表面形貌、铁电性能、介电性能和C-V性能。结
【作 者】
：
张云峰 王华 任明放 
【机 构】
：
桂林电子科技大学信息与通信学院,桂林电子科技大学信息材料科学与工程系
【出 处】
：
电工材料
【发表日期】
：
2008年2期
【关键词】
：
SOL-GEL法 铁电薄膜 BLTN 微观结构 性能 Sol gel method   ferroelectric films  BLTN   microstr 
【基金项目】
：
国家自然科学基金资助（50262001）
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采用溶胶-凝胶法（Sol-gel）在p-Si和Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备Bi3.25La0.75Ti2.94Nb0.06O12（BLTN）铁电薄膜,研究了BLTN薄膜的晶相结构、表面形貌、铁电性能、介电性能和C-V性能。结果表明：所制备的BLTN薄膜具有单一的层状钙钛矿结构,且为随机取向;高于650℃退火处理的BLTN薄膜表面平整致密;铁电性能测试显示较饱和的电滞回线;当退火温度为650℃时,其剩余极化Pr和Ec分别为24.6μC/cm^2和96.8 kV/cm,明显优于Bi3Ti4O12（BI
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