【摘 要】
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阐述了一种纳米尺度下测试材料显微硬度的试验方法——深度硬度试验法。并研制了深度硬度试验装置，采用压电陶瓷传感器实现微位移和激光测试超低载荷，该试验装置分辨率高，可以实
【机 构】
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阐述了一种纳米尺度下测试材料显微硬度的试验方法——深度硬度试验法。并研制了深度硬度试验装置，采用压电陶瓷传感器实现微位移和激光测试超低载荷，该试验装置分辨率高，可以实现纳米级压痕的显微硬度测试。
A test method of the microhardness of the test material under the nanometer scale is described. And developed a depth hardness test device, the use of piezoelectric ceramic sensors to achieve micro-displacement and ultra-low laser load test, the test device with high resolution, nano-indentation can achieve microhardness test.
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