一维纳米材料的ECR-CVD方法制备

来源 :2004全国真空冶金与表面工程学术研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：flysnake

【摘要】

：

本文应用电子回旋共振微波等离子体化学气相沉积方法(ECR-CVD)进行了一维纳米材料的制备.以Fe304纳米粒子为催化剂,采用不同的气源,在多孔硅基底上制备出了碳纳米管、掺硼碳纳米管以及异质结构的纳米管.利用扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)和X射线光电子谱(XPS)对样品的形貌、结构及组份进行表征.

【作者】

：

王志巴德纯蔺增曹培江

【机构】

：

东北大学真空与流体工程研究中心(沈阳);沈阳航空工业学院(沈阳) 东北大学真空与流体工程研究中心(

【出处】

：

2004全国真空冶金与表面工程学术研讨会

【发表日期】

：

2004年5期

【关键词】

：

纳米材料纳米管化学气相沉积 X射线光电子谱

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