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本发明提出了用于制造烷氧基改性的倍半硅氧烷(AMS)或共烷氧基改性的倍半硅氧烷(co-AMS)的方法,步骤包括(a)合并作为反应混合物(i)水,(ii)对水来说酸稳定的溶剂,(iii)一种固体强阳离子型水解和缩合催化剂,和(iv)三烷氧基硅烷化合物,(b)使所述反应混合物反应大约0.5小时至大约200小时以形成所述烷氧基改性倍半硅氧烷;