【摘 要】
：
本文应用二次离子质谱（ＳＩＭＳ），微分霍尔效应和透射电镜（ＴＥＭ）研究了硅中高温注入砷离子的扩散和激活行为．将１８０ＫｅＶ，１×１０１５ｃｍ－２砷离子在５００℃至１０００℃的温度范围内注入硅．研究结果表明：在５００℃至８５０℃注入时所发生的异常扩散
【机 构】
：
中国科学院上海冶金研究所离子束开放室
论文部分内容阅读
本文应用二次离子质谱（ＳＩＭＳ），微分霍尔效应和透射电镜（ＴＥＭ）研究了硅中高温注入砷离子的扩散和激活行为．将１８０ＫｅＶ，１×１０１５ｃｍ－２砷离子在５００℃至１０００℃的温度范围内注入硅．研究结果表明：在５００℃至８５０℃注入时所发生的异常扩散和载流子浓度及迁移率深度分布与剩余缺陷的分布密切相关；而且随着注入温度的增高，砷的增强扩散亦增强，同时所形成的剩余缺陷减少．在注入温度高于８５０℃时，随着注入温度的增高，砷的增强扩散效应减弱．在５００℃至１０００℃的注入温度，与热扩散相比，砷的增强扩散效应显著；电激活率随着注入温度的增高而增大．
其他文献
池杉(Taxodium ascendens Brongn)原产北美,于本世纪二十年代引种我国,推广发展很快,成为我国淮河流域以南数省,特别是长江中、下游平原湖区的速生用材和园林绿化树种。在池
微生物发酵秸秆饲料是利用高活性微生物菌剂,将秸秆饲料的某些成分进一步合成为营养价值较高或适口性较好的物质,使秸秆变成质地松软、湿润蓬松、酸香适口的粗饲料,是解决人
桂江旺村梯级规划开发较早,原规划工作已滞后于梧州的发展,为加快梧州发展需调整旺村梯级电站开发的思路。在此基础上提出建设市内运河和水利枢纽的初步设想,并从加快梧州发
语用失误是跨文化交际中的常见现象。从生活中的实例入手分析了英语学习者的语用失误类型及原因,以期在英语教学中对症下药,找到提高语用能力、减少语用失误的有效方法。为避
上海益民食品二厂有个业余戏剧組。这个戏剧組成立已經七年了。七年来,总是垮了再搞,搞了又垮,冷热病时愈时發。一个戏排三、四个月,临上演的时候,不是不受群众欢迎,就是排
当前,我省西部地区各国营林场杨树低质林采伐后,在迹地伐根清理工作中,存在着“挖疙瘩难”。突出表现为人工挖疙瘩雇工难、工价高、效率低、质量差。但从国内资料上看,现有
关于森林资源状况的资料和参考森林工业发展的前景以及保持森林的环境效益确定营林措施需要的程度对于制定有充分根据的林业发展计划具有非常重要的意义。森林经理是提供森
无灌溉深栽造林技术是一九七九年我国赴意林业考察团带回的国外杨树造林先进成果之一。近年来,先后在河北、山西、湖南等地,进行试验,均取得良好结果。 我区洪积扇中下部泉水
随着我国高等职业教育事业的快速发展,高职院校的党风廉政建设工作任务更加艰巨。特别是最近几年,随着高职院校规模的不断扩大,管理的重心逐渐下降,校企合作联系日渐紧密,专
超快激光和电光技术迅速发展超快源的发展受化学和物理学各种研究应用的推动。超快光脉冲大体可定义为持续时间在千万亿分之一秒（１０－１５Ｓ）到万亿分之一秒（１０－１２Ｓ）间的脉冲。科学家以超快光源探