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传统的接触式测量方式由于接触应力将使得被测件变形，从而产生较大的测量误差。而衍射计量方法在测量缝宽、间隙、微孔直径及全场变形等方面有着高精度、非接触、高效率等优点，在精密检测方面起着不可或缺的作用，其原理简单，效果很好。
激光全场衍射计量
【摘 要】
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传统的接触式测量方式由于接触应力将使得被测件变形，从而产生较大的测量误差。而衍射计量方法在测量缝宽、间隙、微孔直径及全场变形等方面有着高精度、非接触、高效率等优点
【机 构】
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天津大学精仪学院光电信息工程系
【出 处】
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实验室科学
【发表日期】
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2008年1期
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