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期刊论文
聚酰亚胺电容式湿敏元件的研制
聚酰亚胺电容式湿敏元件的研制
来源 :厦门大学学报:自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户:armstronger7026
【摘 要】
:
在硅基片上,采用集成电路工艺制作成有上下电极结构的以聚酰亚胺介质薄膜作为感湿膜的电容式湿度敏感元件,上电极有六种不同设计,对所研制的敏感元件进行感湿特性,温度特性,响应特
【作 者】
:
周海文
吴孙桃
【机 构】
:
厦门大学物理学系
【出 处】
:
厦门大学学报:自然科学版
【发表日期】
:
1997年4期
【关键词】
:
聚酰亚胺
电容式
湿敏元件
硅基片
Punching shear strength
Steel fiber reinforced concrete slab
【基金项目】
:
福建省科技资助
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在硅基片上,采用集成电路工艺制作成有上下电极结构的以聚酰亚胺介质薄膜作为感湿膜的电容式湿度敏感元件,上电极有六种不同设计,对所研制的敏感元件进行感湿特性,温度特性,响应特性的测量,并分析了讨论了测量结果。
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