【摘 要】
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详细阐述了低维半导体材料的X射线衍射的动力学理论和运动学理论.从高木-陶平(T-T)方程出发,基于波动光学原理,推导出任意结构的多层膜的X射线衍射振幅的递推关系式.并编写X
【机 构】
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西北大学光子学与光子技术研究所,中国科学院西安光学精密机械研究所,西北大学光子学与光子技术研究所
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详细阐述了低维半导体材料的X射线衍射的动力学理论和运动学理论.从高木-陶平(T-T)方程出发,基于波动光学原理,推导出任意结构的多层膜的X射线衍射振幅的递推关系式.并编写X射线衍射的程序,分别用动力学和运动学衍射理论模型模拟了20层GaAlAs/GaAs超晶格的X射线衍射结果,得到超晶格样品的结构参量.
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