三氟化氮泄漏在线监测系统设计及应用

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为了实现三氟化氮生产及灌装车间三氟化氮气体的泄漏监测,研究了一套基于超高温裂解原理的三氟化氮泄漏在线监测系统。该系统采用MSP430单片机作为主控芯片,具有响应速度快、测量准确、误码率的特点,能够最低检测到0.1 ul/L的泄漏,信号能够直接接入厂区的DCS系统。
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