Si_3N_4球/DLC膜摩擦副在真空环境下的摩擦学行为研究

来源 :真空科学与技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:June_misu
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采用非平衡磁控溅射技术在高速钢基体上制备了类金刚石(DLC)膜。采用球盘式摩擦磨损试验机考察了DLC膜在大气和真空环境干摩擦条件下的摩擦学性能,并比较分析了GCr15钢球和Si3N4球不同摩擦配副对DLC膜的摩擦学性能。采用光学显微镜及扫描电镜观察了摩擦副的磨损表面形貌。研究结果表明:由于转移膜的形成Si3N4球/DLC膜摩擦副在大气下具有良好的摩擦学性能;而在真空条件下摩擦副易发生明显的粘着磨损,使摩擦系数、磨斑增加,磨损表面上存在着较多的片状磨屑和微米级颗粒。 Diamond-like carbon (DLC) films were prepared on high speed steel substrates by unbalanced magnetron sputtering. The friction and wear properties of DLC film under dry friction conditions of atmospheric and vacuum environment were investigated by ball disc friction and wear tester. The tribological properties of DLC film with different friction pairs of GCr15 steel balls and Si3N4 balls were analyzed. The wear surface morphology of friction pair was observed by optical microscope and scanning electron microscope. The results show that: due to the formation of transfer film Si3N4 ball / DLC film friction pair has good tribological properties in the atmosphere; and in the vacuum conditions, the friction pair prone to significant adhesion wear, the friction coefficient, wear increased, wear surface On the existence of more flake debris and micron-sized particles.
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