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提出了基于数字微镜器件（DMD）的双曝光头总体结构,该结构可同时刻划母尺的周期和非周期两个光栅码道。单曝光头包含曝光光源、调焦光源、DMD和投影镜头四部分,曝光光源由激光器、准直镜组、二维微透镜阵列和场镜组成。本文利用光学软件TracePro设计该光源,实现了能量的平顶分布,在14mm×10mm的照明面上均匀性达到95%以上。利用光学软件Zemax设计了工作在双波段（曝光光源0.403～0.407μm和调焦光源0.525～0.535μm）的共焦投影镜头,采用了二向色镜和分光棱镜使其能在曝光的同时