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为了找出多束表面等离子体激元干涉的分布情况，采用严格的解析推导方式，建立了多束表面等离子体激元干涉场的理论模型，在此基础上数值模拟了多束表面等离子体激元干涉产生的2维及3维点阵结构的特性。结果表明，干涉场分辨率可达到1／6波长，并与普通激光多光束干涉场在光场的形状上一致。该研究有助于多束表面离子体激元光刻的进一步研究和阵列型纳米级光学器件的制造。