切换导航
文档转换
企业服务
Action
Another action
Something else here
Separated link
One more separated link
vip购买
不 限
期刊论文
硕博论文
会议论文
报 纸
英文论文
全文
主题
作者
摘要
关键词
搜索
您的位置
首页
期刊论文
ULSI多层布线中Cu的CMP技术
ULSI多层布线中Cu的CMP技术
来源 :电子器件 | 被引量 : 0次 | 上传用户:huxianding
【摘 要】
:
作者对当前ULSI多层布线中金属铜的CMP技术作了系统的介绍,对抛光机理、多层布线中铜图案成型技术、浆料目前的种类及成分和表面完美性问题作了详细地分析和论述,并对目前存在
【作 者】
:
王弘英
刘玉岭
王新
檀柏梅
【机 构】
:
河北工业大学
【出 处】
:
电子器件
【发表日期】
:
2001年2期
【关键词】
:
多层布线
铜
化学机械抛光
浆料
ULSI
集成电路
Multilevel metallization
Copper
CMP
Slurry
下载到本地 , 更方便阅读
下载此文
赞助VIP
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
作者对当前ULSI多层布线中金属铜的CMP技术作了系统的介绍,对抛光机理、多层布线中铜图案成型技术、浆料目前的种类及成分和表面完美性问题作了详细地分析和论述,并对目前存在问题及解决的方法和发展方向进行了讨论。
其他文献
中美科学家揭示人类衰老的关键驱动力
人类为什么会衰老?中美两国科学家的一项新研究显示,一种叫做异染色结构失去稳定,可能是关键原因。这项成果为延缓衰老及防治衰老相关疾病提供了新思路。
期刊
人类衰老
科学家
驱动力
相关疾病
延缓衰老
染色
我省政策性粮食收购全面结束
截至4月30日,我省累计收购2013年生产的粮食729亿斤,创历史最高水平。其中,玉米662.9亿斤,稻谷58.6亿斤,大豆及其他7.7亿斤。其中,国家临储玉米567.8亿斤,占全省玉米收购总量的85.7%。
期刊
粮食收购
玉米
稻谷
大豆
推进人口城镇化的体制机制创新
中央城镇化工作会议于2013年12月12日至13日在京举行。会议指出,要以人为本,推进以人为核心的城镇化,提高城镇人口素质和居民生活质量,把促进有能力在城镇稳定就业和生活的常住人
期刊
人口城镇化
机制创新
体制
生活质量
以人为本
人口素质
就业
和龙市八家子镇举办残疾人农业技术培训班
为进一步提高残疾人科技意识和劳动技能,帮助残疾人更好地掌握农业实用技术,4月19日,和龙市八家子镇举办了残疾人农业技术培训班,50名残疾人参加了此次培训,并发放材料300份。培训
期刊
农业实用技术
技术培训班
残疾人
黑木耳栽培
蔬菜栽培技术
科技意识
人参
网箱养殖高产高效的技术保障
随着网箱养鱼技术的推广,内陆山区大中型水库周边群众纷纷投入资金,从事网箱养殖,网箱养殖业逐步成为库区群众的主导产业。然而,许多养殖户因缺乏养殖技术,加上管理不善,尽管投入巨
期刊
网箱养鱼技术
网箱养殖
保障
大中型水库
主导产业
养殖技术
养殖业
养殖户
农机具维修保养及故障排除
摘要:很多农机具在使用时,需要一些实际经验和专业知识作为指导。但是,现阶段的实际情况,很多操作者不能正确操作、养护、维修农机具,使得农机具寿命缩短。本文主要针对农机具的维修养护、故障排除进行了探讨。 关键词:农机具;日常保养;维修养护;故障排除 中图分类号: S229 文献标识码: A DOI编号: 10.14025/j.cnki.jlny.2014.21.0046 随着市场经济不断壮大,农
期刊
农机具
日常保养
维修养护
故障排除
基于超程时间减小速率建模的电磁继电器可靠性寿命分析方法的研究
电磁继电器触点的磨损和老化是影响继电器可靠性的重要因素之一.超程时间的减小是电磁继电器触点磨损和老化的主要表现形式.本文提出以超程时间减小速率为随机变量,建立了电
期刊
电磁继电器
可靠性
寿命
超程时间减小速率
electromagnetic relays
reliability
life
the decrease rat
磁偏转线圈的一个简单模型
本文针对复杂的磁偏转线圈实体,提出了一个简单的模型,使得对实际偏转线圈结构的测量和数值模拟都较为简单.利用该模型,对实际14″彩色显像管(CRT)的偏转线圈绕线结构进行了
期刊
磁偏转线圈
光栅畸变
会聚误差
magnetic deflection
raster distortion
convergence error
TCP中速率控制的使用
本文讨论了TCP在客户端-服务器模式中出现的TCP重起(慢启动)和慢启动忽略的情况,分析了这些情况给服务质量带来的问题,从而提出了一种能对这两种情况进行折中的方法:速率控制,并
期刊
传输控制协议
速率控制
通信协议
TCP
Rate Based Control
clientserver congestion control.
重启希望
经过两年的等待,欧洲大型强子对撞机终于等来了自己的第二次运行。人们还记得,它的第一阶段运行便证实了希格斯玻色子的存在,因此有理由相信,它还会继续带来惊喜,这一切只是时间问
期刊
大型强子对撞机
希格斯玻色子
时间问题
运行
一阶
与本文相关的学术论文