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光学元件表面的颗粒污染物会影响到光学系统的正常运行, 为了解决此污染问题, 采用激光等离子体冲击波清洗法移除K9玻璃表面的SiO2颗粒污染物。在激光器扫描模式下, 实验研究此方法的清洗效果; 在激光单点作用下, 理论计算了颗粒位置、激光作用距离及激光能量对清洗效果的影响, 并以实验加以验证。结果表明, 通过良好地控制激光参量, 采用Nd∶YAG激光清洗K9玻璃表面的SiO2颗粒具有明显的效果; 在激光单点作用下, 计算结果与实验结果规律一致。