【摘 要】
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ＣＨＦ＿３／Ｏ＿２接触腐蚀过程中的氢渗透＝Ｓｉ缺陷形成及其相互影响＝Ｈｙｄｒｏｇｅｎｐｅｒｍｅａｔｉｏｎ，Ｓｉｄｅｆｅｃｔｇｅｎｅｒａｔｉｏｎ，ａｎｄｔｈｅｉｒｉｎｔｅｒａｃｔｉｏｎｄｕｒｉｎｇＣＨＦ＿３／Ｏ＿２ｃｏｎｔａｃｔｅｔｃｈｉｎｇ［刊，英］...
Hydrogen Permeation in CHF_3 / O_2 Contact Corrosion Process = Si Defect Formation and Its Interaction = Hydr
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ＣＨＦ＿３／Ｏ＿２接触腐蚀过程中的氢渗透＝Ｓｉ缺陷形成及其相互影响＝Ｈｙｄｒｏｇｅｎｐｅｒｍｅａｔｉｏｎ，Ｓｉｄｅｆｅｃｔｇｅｎｅｒａｔｉｏｎ，ａｎｄｔｈｅｉｒｉｎｔｅｒａｃｔｉｏｎｄｕｒｉｎｇＣＨＦ＿３／Ｏ＿２ｃｏｎｔａｃｔｅｔｃｈｉｎｇ［刊，英］...
Hydrogen Permeation in CHF_3 / O_2 Contact Corrosion Process = Si Defect Formation and Its Interaction = Hydrogenpermeation, Sidefectgeneration, andtheirinteractionduringCHF_3 / O_2contactetching
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